电感耦合等离子体发射光谱仪是一种高性能的光谱仪器，是以电感耦合等离子体作为激发光源，根据处于激发态的待测元素原子回到基态时发射的特征谱线对待测元素进行分析的仪器。其原理是利用高频感应线圈将氩气等离子体激发产生高温、高能量的等离子体，使样品中的元素原子被激发并发射特征光谱线，通过检测和分析这些光谱线来确定样品中元素的含量。
1、进样系统：
进样系统是ICP仪器中极为重要的部分，按试样状态不同可以分别有液体、气体或固体直接进样。
液体进样装置：包括气动雾化器、超声波雾化器、高压雾化器、微量雾化器、循环雾化器、耐氢氟酸雾化器等。
固体进样装置：常用的装置有电火花烧蚀进样器、激光烧蚀进样器、电热进样器、插入式石墨杯进样器。
气体进样装置：如氢化物发生器、专用气体进样器。
2、激发源：
激发源的作用是提供试样蒸发、原子化、激发所需的能量。
等离子体激发光源主要由射频发生器、耦合线圈、等离子体矩管和供气系统等几部分构成。射频发生器主要有自激式和它激式两种。
3、分光系统：
分光系统的作用是将由不同波长辐射复合而成的光按照波长依次展开获得光谱。
常见的分光系统主要由棱镜、光栅。
4、检测器：
检测器用于光电转换的电子装置，由光电转换器件将光强度转换成电信号，在积分放大后，通过输出装置给出定性或定量分析结果。
目前常用的有真空光电检测器（光电倍增管，PMT）和固态光电检测器两类，其中固态检测器分电感耦合型检测器CCD、电荷注入型检测器CID或互补金属氧化物半导体类型检测器CMOS等。
5、控制与数据管理系统：
控制与数据处理系统由计算机和相应软件组成，实现对仪器的操作、各种参数调节和控制、测定及数据处理等。
